機(jī)床伺服系統(tǒng)的技術(shù)進(jìn)步很大程度上取決于伺服驅(qū)動(dòng)元件的發(fā)展水平。隨著數(shù)控技術(shù)的演變和發(fā)展，伺服系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)元件大致經(jīng)歷了三個(gè)階段。
  第一階段：20世紀(jì)70年代以前，是電液伺服和步進(jìn)伺服系統(tǒng)的全盛時(shí)期。
  電液驅(qū)動(dòng)具有慣性小、反應(yīng)快、剛性好等特點(diǎn)，早期的數(shù)控沖床多采用電液伺服系統(tǒng)。但電液驅(qū)動(dòng)設(shè)備復(fù)雜，效率低，發(fā)熱大，維修困難。步進(jìn)電機(jī)開環(huán)系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉、使用維修方便的優(yōu)點(diǎn).在當(dāng)時(shí)被大力推廣，至今仍在經(jīng)濟(jì)型數(shù)控沖床上使用。
  第二階段：20世紀(jì)70-80年代，功率晶體管和晶體管脈寬調(diào)制驅(qū)動(dòng)裝置的出現(xiàn)，加速了直流伺服系統(tǒng)的性能提高和推廣普及的步伐，直流伺服逐漸占據(jù)主導(dǎo)地位。小慣量直流伺服電機(jī)具有電樞回路時(shí)間常數(shù)小、調(diào)速范圍寬、轉(zhuǎn)向符位好的特點(diǎn)，在一部分需要頻繁起動(dòng)和快速定位的機(jī)床上得到迅速推廣。大慣量寬調(diào)速范圍直流伺跟電機(jī)，由于輸出轉(zhuǎn)聲巨大、過(guò)載能力強(qiáng)，電機(jī)慣量與機(jī)床傳動(dòng)部件慣量相當(dāng)，可直接帶動(dòng)絲杠，易于控制與調(diào)整，在數(shù)控沖床上得到廣泛應(yīng)用。直流伺服系統(tǒng)的缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格昂貴，電刷對(duì)防塵、防油要求嚴(yán)格，易磨損，需要定期維護(hù)。
  第三階段：20世紀(jì)80年代后，由于交流伺服電機(jī)材料、結(jié)構(gòu)、控制理論及方法均有突破性的進(jìn)展，而且隨著電子技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了許多新的調(diào)速方法，如變頻調(diào)速、矢量控制等。這些新技術(shù)的應(yīng)用，使交流滿調(diào)系統(tǒng)的性能大大地得到提高，并有逐漸取代直流伺服系統(tǒng)之勢(shì)。交流伺服電機(jī)統(tǒng)更大的優(yōu)點(diǎn)是電機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不需要維護(hù)，適合在較惡劣的環(huán)境中使用。